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1. 北京理化分析中心
3. ,北京,100081
纸质出版:1993
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刘芬, 王忠燕, 陈萦, 赵汝权, 胡兴中. 用俄歇参数法研究SiO2/Si界面层硅元素过渡态[J]. 分析测试学报, 1993,(6):74-77. DOI: 10.19969/j.fxcsxb.1993.06.020.
刘芬, 王忠燕, 陈萦, 赵汝权, 胡兴中. 用俄歇参数法研究SiO2/Si界面层硅元素过渡态[J]. 1993, (6): 74-77. DOI: 10.19969/j.fxcsxb.1993.06.020.
刘芬, 王忠燕, 陈萦, 赵汝权, 胡兴中. 用俄歇参数法研究SiO2/Si界面层硅元素过渡态[J]. 分析测试学报, 1993,(6):74-77. DOI: 10.19969/j.fxcsxb.1993.06.020. DOI:
刘芬, 王忠燕, 陈萦, 赵汝权, 胡兴中. 用俄歇参数法研究SiO2/Si界面层硅元素过渡态[J]. 1993, (6): 74-77. DOI: 10.19969/j.fxcsxb.1993.06.020. DOI:
本文报道了俄歇参数法用于SiO
2
/Si界面层硅过渡态的研究。使用一种新的AlK
α
-AgL
混合X射线激发源
获得了界面层上Si
P
Si KLL谱峰。给出了从表面到界面硅的化学状态变化与俄歇参数值。
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