Untersuchung des Übergangszustands des Siliziumelements in der SiO2/Si-Grenzschicht mit der Auger-Parameter-Methode

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摘要

Dieser Artikel berichtet über die Untersuchung des Übergangszustands von Silizium in der SiO2/Si-Grenzschicht mithilfe der Auger-Parameter-Methode. Mit einer neuen hybriden AlKα-AgLα-Röntgenanregungsquelle wurden die Si2P- und Si KLL-Spektren in der Grenzschicht erhalten. Es werden die Veränderungen des chemischen Zustands vom Oberflächen- bis zum Grenzsilizium und die Werte der Auger-Parameter dargestellt.

关键词

Auger-Parameter; Röntgenelektronenspektroskopie; Silizium

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