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面接触三探针测试硅外延片的电阻率
更新时间：2026-07-27

    • 面接触三探针测试硅外延片的电阻率

    • 面接触三探针测试硅外延片的电阻率

    • 分析测试学报   1993年第2期 页码：68-71

    • DOI：10.19969/j.fxcsxb.1993.02.018    

      中图分类号：

    • 纸质出版：1993

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  • 吴泳章, 朱德平, 张海民, 鲁松年. 面接触三探针测试硅外延片的电阻率[J]. 分析测试学报, 1993,(2):68-71. DOI： 10.19969/j.fxcsxb.1993.02.018.

    吴泳章, 朱德平, 张海民, 鲁松年. 面接触三探针测试硅外延片的电阻率[J]. 1993, (2): 68-71. DOI： 10.19969/j.fxcsxb.1993.02.018.

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