Dreipunktsoberflächensondentest der spezifischen Widerstände von Silizium-Epitaxieschichten

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摘要

Diese Methode (im Folgenden als Oberflächen-Dreipunktsonde bezeichnet) ist eine chinesische Originalerfindung, die der Punktkontaktmethode weit überlegen ist und den Bereich der Dreipunktemessungen der spezifischen Widerstände von Epitaxieschichten erheblich erweitert. Dieser Artikel beschreibt die Anwendung dieser Methode zur Prüfung von kalibrierten einkristallinen Siliziumproben und Epitaxieschichten.

关键词

Sonde; spezifischer Widerstand; Silizium

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