Prueba de resistencia de obleas epitaxiales de silicio con sonda de tres contactos en superficie
摘要
Este método (denominado en adelante sonda de tres contactos en superficie) es una invención original de China, mucho más superior al método de contacto puntual, que puede ampliar el alcance actual de las pruebas de resistividad con sonda de tres contactos en obleas epitaxiales. Este artículo expone el uso de este método para probar obleas monocristalinas de silicio calibradas y obleas epitaxiales.
关键词
sonda; resistividad; silicio
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