本文讨论了利用棉偏光谱法测量很薄固体膜的光性的原理和方法,包括椭偏计算模型的建立、模型的合适性等问题,考察了环境介质-薄膜-衬底三根系统和环境介质-薄膜-界面过渡层-衬底四相系统,并引入了一种简化椭偏计算的方法。此外,本文也给出了两个研究实例,包括Si衬底上的Pt膜和PtSi膜。