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新型空心电极辉光离子源的供电控制系统设计及应用
新型空心电极辉光离子源的供电控制系统设计及应用
Design and Application of Power Supply Control System of New Hollow Electrode Glow Ion Source
- 分析测试学报 2024年43卷第12期 页码：1979-1985
DOI： 10.12452/j.fxcsxb.24041201
修回：2024-06-30
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