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Al2O3对Ti膜离子注入表面损伤及D滞留量的影响研究
研究报告 | 更新时间：2025-11-21
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    • Al2O3对Ti膜离子注入表面损伤及D滞留量的影响研究

    • Effect of Al2O3 on Surface Damage and D Retention of Ti Film During Ion Implantation

    • 胡江钰 ，范宇 ，梁参军 ，郝丽娟 ，刘朝伟 ，宋勇
    • 分析测试学报 2024年43卷第10期 页码：1664-1668

    • DOI： 10.12452/j.fxcsxb.240905375     

      中图分类号：

    • 修回：2024-09-24 ，

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