湖北省化学研究所
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[J]. (4):36-38(1986)
DOI:
[J]. (4):36-38(1986) DOI:
<正> AlN薄膜具有耐高温、化学性质稳定、绝缘性能好,机电耦合系数大、声速高、高频性能好等特点。本文研究的AlN薄膜是以低温(室温)溅射的方法,在一定的实验条件下,以气相反应形式而制得的一种微带黄正>
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