华南理工大学 ,华南师范大学
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[J]. (4):1-7(1989)
DOI:
[J]. (4):1-7(1989) DOI:
低电压扫描电子显微术是研究半导体、绝缘体和生物材料的有效方法。本文综述了这种方法的优点、限制和关于扫描电镜的改进,并且提供了实际操作的某些要领。
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