碳、硼、氮及氧等元素在电子探针分析中常称之为超轻元素。这些元素的定量分析还存在许多包括测量和定量修正方面的困难。本文就质量吸收系数的不准确、超轻元素谱线的化学位移、及重元素的Ｌ、Ｍ、及Ｎ系谱线对其干扰等方面的问题进行研究和讨论，并分别提出了解决这些问题的方法。选择合适的标样是获得准确定量分析结果的关键。