采用发射光谱（ＯＥＳ）技术系统地研究了电子回旋共振（ＥＣＲ）微波等离子体基低能离子注入的等离子体特性。结果表明：纯氮气形成的等离子体中的活性粒子主要是Ｎ２和Ｎ＋２，等离子体中电子与气体分子碰撞使Ｎ２产生激发和电离，而使Ｎ２离解的作用很小；氮氩混合气形成的等离子体中，随着氩气分压的增加，Ｎ２和Ｎ＋２的浓度降低，同时氩气对氮分子离解的贡献很小；直接施加于试样的脉冲负偏压对等离子体特性没有明显影响，但存在着一定的溅射作用。