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等离子化学气相沉积硅-硼-氮复合薄膜的组成和结构
更新时间：2025-02-21
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    • 等离子化学气相沉积硅-硼-氮复合薄膜的组成和结构

    • Issue 2, Pages: 83-85(2002)
    • CLC： TB43

    • Published：2002

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  • [J]. 2002, (2): 83-85. DOI：

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