El desgaste de la sonda es uno de los factores clave que afectan la calidad de la imagen del microscopio de fuerza atómica. Para estudiar el problema del desgaste de la punta de la sonda del microscopio de fuerza atómica (AFM), se seleccionó una superficie ultra plana (Rq<0,5 nm) como muestra de prueba, utilizando la rugosidad de la superficie del material (Rq) para evaluar la eficiencia del desgaste de la punta de la sonda. Bajo condiciones de prueba con una baja relación de amplitud objetivo del brazo de la sonda (10%), un bajo valor de ajuste de bucle de retroalimentación (10%), una baja velocidad de escaneo (1,0 Hz) y una ganancia I moderada (1,7), el desgaste de la sonda fue mínimo, lo que puede prolongar efectivamente la vida útil de la sonda. Finalmente, se utilizó un microscopio electrónico de barrido para comparar la morfología de la punta de la sonda bajo diferentes condiciones de prueba, y se propusieron los mecanismos de desgaste y fractura de la punta de la sonda durante las pruebas continuas.

Microscopio de fuerza atómica;Desgaste de la punta;Rugosidad;Modo tapping ligero