Este estudio estableció un método para determinar el contenido de 29 elementos traza de impurezas en ácido fosfórico electrónico mediante espectrometría de masas de plasma de acoplamiento inductivo con triple cuadrupolo. El método se implementó en un ambiente limpio clase 100 con una cabina dinámica de muestreo clase 10 para controlar eficazmente la contaminación. La optimización de parámetros del instrumento mejoró la respuesta de los elementos, redujo la tasa de conversión de óxidos y evitó interferencias de masas debidas a iones de óxido. Se utilizó el método de adición estándar para compensar los efectos de matriz y se combinaron diversos modos de reacción tales como modo de colisión con helio, modo de oxígeno y modo plasma frío-amoniaco, evitando eficazmente las interferencias de iones poliatómicos generadas por reacciones secundarias de la matriz de ácido fosfórico en plasma de argón, lo que redujo los límites de detección del método y mejoró la precisión cuantitativa. Los resultados mostraron que los 29 elementos traza tienen una correlación lineal en el rango de 0 a 100 ng/kg con coeficiente superior a 0.998; los límites de detección en solución de ácido fosfórico al 1% en masa oscilan entre 0.03 y 3.39 ng/kg; la tasa de recuperación por adición estándar fue de 77.6% a 112%; la desviación estándar relativa (RSD) de estabilidad no excedió el 7.0%. Los resultados son confiables y cumplen con los requisitos de medición de ácido fosfórico electrónico para procesos avanzados.

Espectrometría de masas de plasma de acoplamiento inductivo con triple cuadrupolo (ICP-MS/MS); ácido fosfórico electrónico; elementos traza; procesos avanzados