Износ зонда является одним из ключевых факторов, влияющих на качество изображений атомно-силового микроскопа. Для изучения проблемы износа острия зонда атомно-силового микроскопа (AFM) был выбран сверхплоский образец (Rq<0,5 нм), использовалась шероховатость поверхности материала (Rq) для оценки эффективности износа острия зонда. При относительно низком отношении амплитуды целевого качания консоли зонда (10 %), низком коэффициенте обратной связи (10 %), низкой скорости сканирования (1,0 Гц) и умеренном I-gain (1,7) износ зонда был минимален, что эффективно продлевает срок службы зонда. В конце с помощью сканирующего электронного микроскопа была проведена сравнительная оценка морфологии острия зонда при различных условиях тестирования, и была предположена механика износа и разрушения острия зонда при непрерывном тестировании.

Атомно-силовой микроскоп;Износ острия;Шероховатость;Режим легкого касания