В этом исследовании разработан метод индуктивно-связанной плазмы с последовательной масс-спектрометрией (ICP-MS/MS) для одновременного определения 20 следовых примесей в высокочистом гафнии. Использована двукомпонентная кислота (нитратная и плавиковая кислоты) для одноступенчатого полного разложения образца без необходимости разделения матрицы или совместного осаждения, что позволяет непосредственно вводить образец и значительно повышает эффективность и пропускную способность анализа. Путем систематической оптимизации рабочих параметров прибора, с учетом характеристик интерференций различных элементов, применены режимы столкновения с гелием (для определения Be, Mg, Al, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, As, Mo, Cd, Sn, Sb, Pb) и реакционный режим с кислородом (для определения Pt, Au), что эффективно устраняет многоатомные ионные интерференции, вызванные матрицей гафния; коррекция матричного эффекта и длительного дрейфа сигнала инструмента проведена с использованием онлайн внутреннего стандарта. Валидация метода показала, что при оптимальных параметрах прибора с расходом разбавляющего газа 0.520 л/мин и расходом реакционного кислорода 0.950 мл/мин пределы обнаружения для 20 целевых элементов составляют от 0.0102 до 0.3180 мг/кг, восстановление добавок — 91,0%-109%, относительное стандартное отклонение (RSD) прецизионности образцов менее 5%. Метод прост в эксплуатации, обладает высокой точностью и достоверностью, удовлетворяет требования количественного анализа следовых примесей в высокочистом гафнии и предоставляет надежную техническую поддержку для оптимизации производственного процесса и установления стандартов качества материалов высокого чистого гафния.

ICP-MS/MS;высокочистый гафний;примесные элементы;массовые спектрометрические интерференции;реакционный режим