В данном исследовании разработан метод определения содержания 29 следовых примесей в электронной фосфорной кислоте с использованием тройного квадрупольного индуцированного электромагнитного плазменного масс-спектрометра. Метод установлен в условиях чистой комнаты класса 100 и динамического образца класса 10, что эффективно контролирует загрязнения. Благодаря оптимизации параметров прибора повышена чувствительность элементов, снижена степень образования оксидов и предотвращены помехи масс-спектра от оксидных ионов. Использовался метод стандартных добавок для компенсации матричных эффектов, совместно с режимами реакции – гелиевым столкновением, кислородным режимом и холодной плазмой с аммиаком, что эффективно устраняет помехи многоатомных ионов, возникающих побочными реакциями матрицы фосфорной кислоты в аргоновой плазме, снижая предел обнаружения и повышая точность количественного анализа. Результаты показывают линейную корреляцию 29 элементов в диапазоне 0–100 нг/кг с коэффициентом выше 0.998; пределы обнаружения элементов в 1%-ном растворе фосфорной кислоты варьируются от 0.03 до 3.39 нг/кг; восстановление при добавлении стандартов составляет 77.6%–112%, относительное стандартное отклонение (RSD) стабильности не превышает 7.0%. Результаты надежны и удовлетворяют требованиям измерения электронной фосфорной кислоты для передовых процессов.

Тройной квадрупольный ICP-MS/MS; электронная фосфорная кислота; следовые элементы; передовые процессы