Estudo do desgaste da ponta da sonda do microscópio de força atômica baseado em superfície ultralisa

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摘要

O desgaste da sonda é um dos fatores chave que afetam a qualidade da imagem do microscópio de força atômica. Para estudar o problema do desgaste da ponta da sonda do microscópio de força atômica (AFM), foi selecionada uma superfície ultralisa (Rq<0,5 nm) como amostra de teste, utilizando a rugosidade da superfície do material (Rq) para avaliar a eficiência do desgaste da ponta da sonda. Sob condições de teste com baixa proporção da amplitude alvo da alavanca da sonda (10%), baixo valor de configuração do loop de realimentação (10%), baixa velocidade de varredura (1,0 Hz) e ganho I moderado (1,7), o desgaste da sonda foi mínimo, podendo prolongar efetivamente a vida útil da sonda. Por fim, foi utilizado um microscópio eletrônico de varredura para comparar a morfologia da ponta da sonda sob diferentes condições de teste, e foram inferidos os mecanismos de desgaste e fratura da ponta da sonda durante os testes contínuos.

关键词

Microscópio de força atômica;Desgaste da ponta;Rugosidade;Modo de batida leve

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