Este estudo estabeleceu um método para determinar o conteúdo de 29 elementos traço de impurezas no ácido fosfórico eletrônico baseado em espectrometria de massa de plasma de acoplamento indutivo com triplo quadrupolo. O método foi implementado em um ambiente limpo classe 100 com uma cabine dinâmica de amostragem classe 10, controlando efetivamente a contaminação. A otimização dos parâmetros do instrumento melhorou a resposta dos elementos, reduziu a taxa de conversão de óxidos e evitou interferências no espectro de massa causadas por íons de óxido. Foi utilizado o método de adição padrão para compensar os efeitos da matriz, juntamente com vários modos de reação, incluindo modo de colisão com hélio, modo oxigênio e modo plasma frio-amônia, evitando eficazmente as interferências de íons poliatômicos geradas por reações secundárias da matriz do ácido fosfórico no plasma de argônio, reduzindo os limites de detecção do método e melhorando a precisão quantitativa. Os resultados mostram que os 29 elementos traço apresentam correlação linear na faixa de 0 a 100 ng/kg com coeficiente superior a 0,998; os limites de detecção dos elementos na solução de ácido fosfórico a 1% (fração em massa) variam de 0,03 a 3,39 ng/kg; a recuperação por adição padrão varia de 77,6% a 112%; o desvio padrão relativo (RSD) da estabilidade não ultrapassa 7,0%. Os resultados são confiáveis e atendem às necessidades de medição do ácido fosfórico eletrônico para processos avançados.

Espectrometria de massa de plasma de acoplamento indutivo com triplo quadrupolo (ICP-MS/MS); ácido fosfórico eletrônico; elementos traço; processos avançados