프로브 마모는 원자력 현미경 이미지 품질에 영향을 주는 주요 요인 중 하나입니다. 원자력 현미경(AFM) 프로브 팁 마모 문제를 연구하기 위해 초평면(Rq<0.5 nm)을 테스트 샘플로 선택하고, 소재 표면의 거칠기(Rq)를 사용하여 프로브 팁 마모 효율을 평가했습니다. 낮은 프로브 캔틸레버 목표 진폭 비율(10%), 낮은 피드백 루프 설정 비율(10%), 낮은 스캔 속도(1.0 Hz) 및 적당한 I 게인(1.7) 조건에서 프로브 마모는 최소화되어 프로브의 수명을 효과적으로 연장할 수 있었습니다. 마지막으로 주사 전자 현미경을 사용하여 다양한 테스트 조건에서 프로브 팁의 형태를 비교하고, 연속 테스트 중 프로브 팁의 마모 및 파손 메커니즘을 추정했습니다.

원자력 현미경;팁 마모;거칠기;라이트 태핑 모드