摘要
아르곤 가스에서 이온화된 스퍼터 증착법으로 탄소 필름 위에 증착된 Ag 초미립자에 대해 투과전자현미경을 이용한 직접 연구가 수행되었다. 명시야상과 전자회절 관찰 분석을 통해 스퍼터 입사각이 60°일 때, 다양한 출사각에서 수집된 초미립자의 크기, 크기 분포, 형태 및 상 구조가 각각 다름을 발견하였다.
关键词
초미립자;은;투과전자현미경
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