摘要
이 방법(이하 표면 3탐침법)은 중국의 독창적인 발명으로, 점 접촉 방법보다 훨씬 우수하며 현재 에피택시 웨이퍼의 저항률 3탐침 테스트 범위를 확대할 수 있습니다. 본문에서는 이 방법을 사용하여 교정된 단결정 실리콘과 에피택시 웨이퍼 테스트 사례를 설명합니다.
关键词
탐침; 저항률; 실리콘
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