X선 광전자 분광법(XPS)은 표면 화학 상태 분석을 처리하는 중요한 수단으로, 과학 연구의 다양한 분야에서 널리 활용되어 연구 발전을 크게 촉진했습니다. 그러나 전이 금속 화합물 및 희토류 화합물의 스펙트럼 피크 구조는 복잡하며 다중 분열과 피크 확장이 존재하여 화학 상태 분석이 어렵습니다. 본 논문은 데이터베이스 또는 매뉴얼에 있는 전이 금속 화합물과 희토류 화합물의 표준 스펙트럼을 소개하며, 화학 상태 분석 방법—피크 분해법, 위성 피크 특성법, 어거 피크 또는 보정된 어거 파라미터 법을 설명하고, 특히 보정된 어거 파라미터 계산 방법을 중점적으로 소개합니다. 희토류 화합물의 경우 참고할 수 있는 데이터베이스와 표준 협대역 스펙트럼이 적으며, 많은 단일 상태 및 화합 상태가 독특한 진동 피크를 가지고 있어 스펙트럼이 매우 복잡하고 분석이 어렵습니다. 본 논문은 La 및 Ce를 예로 설명하였습니다. 혼합 원자가 상태 분석에서는 비선형 최소 제곱법(NLLSF)을 중점적으로 소개하는데, 이 방법은 실제 스펙트럼 함수를 기반으로 미리 설정된 피크 형태 함수를 구성하는 방법으로, 에너지 손실 피크, 위성 피크, 다중 분열 피크 등이 스펙트럼에 포함되어 정확한 피크 형태 피팅이 가능하며 혼합된 화학 상태가 공존하는 스펙트럼 처리 시 간단하고 신뢰할 수 있습니다. Ni 2p 및 F KLL에서는 Ni, Co, Mn, Fe 등 여러 원소 사이에 중첩 영역이 존재하며, 양극 타겟을 교체하여 어거 피크를 이동시킴으로써 주 광전자 피크와 분리할 수 있어 후속 데이터 해석에 용이합니다. 데이터 해석 전에 데이터베이스 사이트에 참고할 수 있는 표준 스펙트럼이 있는지 확인해야 하며, 표준 협대역 스펙트럼이 없는 원소의 경우 다른 원소의 협대역, 샘플의 정성 반정량 결과를 결합해 객관적이고 합리적인 자기 일관 분석을 수행해야 하며, 실험 기대치나 추측에 따른 피크 분해는 피해야 합니다.

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