摘要
プローブの摩耗は、原子間力顕微鏡の画像品質に影響を与える重要な要因の一つです。原子間力顕微鏡（AFM）のプローブ先端の摩耗問題を研究するために、超平坦な表面（Rq<0.5 nm）をテストサンプルとして選び、材料表面の粗さ（Rq）を用いてプローブ先端の摩耗効率を評価しました。低いプローブキャンチレバー目標振幅比（10％）、低いフィードバックループ設定値比（10％）、低い走査速度（1.0 Hz）、および適度なIゲイン（1.7）のテスト条件下で、プローブの摩耗は最小限に抑えられ、プローブの寿命を効果的に延ばすことができます。最後に走査型電子顕微鏡を用いて異なるテスト条件下でのプローブ先端の形態を比較し、連続テスト中のプローブ先端の摩耗と破断のメカニズムを推測しました。
关键词
原子間力顕微鏡;先端摩耗;粗さ;ライトタッピングモード
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