摘要
アルゴンガス中でイオン化スパッタリングにより炭素膜上に堆積したAg超微粒子を透過型電子顕微鏡で直接研究した。明視野像および電子回折の観察解析により、スパッタ入射角が60°の時に異なる出射角で収集した超微粒子の粒径、粒径分布、形態および相構造がそれぞれ異なることが明らかとなった。
关键词
超微粒子;銀;透過電子顕微鏡
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