本研究は、トリプル四極子誘導結合プラズマ質量分析法に基づき、電子級リン酸中の29種の微量不純物元素含有量を測定する方法を確立した。クラス100のクリーン環境および動的クラス10試料導入室の操作環境を使用し、汚染の導入を効果的に制御した。装置パラメータの最適化により、元素応答強度を向上させ、酸化物変換率を低減し、酸化物イオンによる質量分析干渉を回避した。標準添加法を用いてマトリックス効果を補正し、ヘリウム衝突モード、酸素モード、コールドプラズマ-アンモニアモード等の複数の反応モードを組み合わせて、リン酸マトリックスがアルゴンプラズマ中で起こす副反応によって生じる多原子イオンの干渉を効果的に回避し、方法の検出限界を低減し、定量精度を向上させた。結果は、29種の微量元素が0～100 ng/kgの範囲で相関係数0.998以上の直線性を示し、1%（質量分率）リン酸溶液中の各元素の方法検出限界は0.03～3.39 ng/kgであり、標準添加回収率は77.6%～112%、安定性の相対標準偏差（RSD）は7.0%以下であり、結果は信頼性が高く、先端プロセス用電子級リン酸の測定要求を満たしている。

トリプル四極子誘導結合プラズマ質量分析法（ICP-MS/MS）; 電子級リン酸; 微量元素; 先端プロセス