L'usure de la sonde est l'un des facteurs clés affectant la qualité des images du microscope à force atomique. Pour étudier le problème de l'usure de la pointe de la sonde du microscope à force atomique (AFM), une surface ultra-plate (Rq<0,5 nm) a été choisie comme échantillon de test, et la rugosité de surface du matériau (Rq) a été utilisée pour évaluer l'efficacité de l'usure de la pointe de la sonde. Sous des conditions de test avec un faible rapport d'amplitude de l'objectif du levier de la sonde (10 %), un faible réglage de boucle de rétroaction (10 %), une faible vitesse de balayage (1,0 Hz) et un gain I modéré (1,7), l'usure de la sonde était minimale, ce qui permet de prolonger efficacement la durée de vie de la sonde. Enfin, un microscope électronique à balayage a été utilisé pour comparer la morphologie des pointes de sonde sous différentes conditions de test, et les mécanismes d'usure et de rupture des pointes de sonde lors des tests continus ont été supposés.

Microscope à force atomique;Usure de la pointe;Rugosité;Mode tapping léger