Cette étude a établi une méthode pour déterminer 29 éléments traces d'impuretés dans l'acide phosphorique de qualité électronique en utilisant la spectrométrie de masse à plasma inductivement couplé à trois quadrupôles. La méthode a été mise en place dans un environnement propre de classe 100 avec une cabine d'échantillonnage dynamique de classe 10 pour contrôler efficacement la contamination. L'optimisation des paramètres instrumentaux a permis d'améliorer la réponse des éléments, de réduire le taux de conversion des oxydes et d'éviter les interférences massiques causées par les ions oxydes. La méthode d'ajout standard a été utilisée pour compenser les effets de matrice, ainsi que divers modes de réaction, notamment le mode collision à l'hélium, le mode oxygène et le mode plasma froid-ammoniac, permettant d'éviter efficacement les interférences des ions polyatomiques générées par les réactions secondaires de la matrice de l'acide phosphorique dans le plasma argon, réduisant ainsi les limites de détection de la méthode et améliorant la précision quantitative. Les résultats montrent que les 29 éléments traces présentent une corrélation linéaire dans la plage de 0 à 100 ng/kg avec un coefficient supérieur à 0,998, les limites de détection dans une solution d'acide phosphorique à 1 % en masse varient de 0,03 à 3,39 ng/kg, le taux de récupération par ajout standard est de 77,6 % à 112 %, l'écart-type relatif (RSD) de la stabilité ne dépasse pas 7,0 %. Les résultats sont fiables et répondent aux besoins de mesure de l'acide phosphorique de qualité électronique pour les procédés avancés.

Spectrométrie de masse à plasma inductivement couplé triple quadrupôle (ICP-MS/MS); acide phosphorique de qualité électronique; éléments traces; procédés avancés