Der Sondenausfall ist einer der Schlüsselfaktoren, die die Bildqualität des Atomkraftmikroskops beeinflussen. Zur Untersuchung des Problems des Spitzenverschleißes der Sonde des Atomkraftmikroskops (AFM) wurde eine ultraplane Oberfläche (Rq<0,5 nm) als Testprobe ausgewählt, wobei die Rauheit der Materialoberfläche (Rq) zur Bewertung der Effizienz des Spitzenverschleißes der Sonde verwendet wurde. Unter Testbedingungen mit einem niedrigen Verhältnis der Zielamplitude des Sondenhebels (10 %), einem niedrigen Rückkopplungsregelwert (10 %), einer niedrigen Scangeschwindigkeit (1,0 Hz) und einem moderaten I-Gain (1,7) war der Verschleiß der Sonde minimal, was die Lebensdauer der Sonde effektiv verlängern kann. Schließlich wurde ein Rasterelektronenmikroskop verwendet, um die Morphologie der Sonde unter verschiedenen Testbedingungen zu vergleichen, und es wurden die Mechanismen des Verschleißes und Bruchs der Sonde bei kontinuierlichen Tests vermutet.

Atomkraftmikroskop;Sondenspitzenverschleiß;Rauheit;Leicht-Klopf-Modus