تآكل المسبار هو أحد العوامل الرئيسية التي تؤثر على جودة صور مجهر القوة الذرية. لدراسة مشكلة تآكل رأس مسبار مجهر القوة الذرية (AFM)، تم اختيار سطح فائق الاستواء (Rq<0,5 nm) كعينة اختبار، وتم تقييم كفاءة تآكل رأس المسبار باستخدام خشونة سطح المادة (Rq). تحت شروط اختبار تحتوي على نسبة سعة ذراع المسبار المستهدف المنخفضة (10٪)، ونسبة ضبط الحلقة المرتدة المنخفضة (10٪)، وسرعة المسح المنخفضة (1,0 هرتز)، وI-gain المعتدلة (1,7)، كان تآكل المسبار الأدنى، مما يمكن أن يطيل عمر المسبار بشكل فعال. أخيرًا، تم استخدام المجهر الإلكتروني الماسح لمقارنة هيئة رأس المسبار تحت ظروف اختبار مختلفة، وتم استنتاج آليات تآكل وكسور رأس المسبار أثناء الاختبارات المتتالية.

مجهر القوة الذرية;تآكل الرأس;الخشونة;وضع النقر الخفيف