报道了采用双光束紫外激光辅助有机金属化学气相沉积（ＭＯＣＶＤ）技术获得氧化锌（ＺｎＯ）薄膜（厚度５０～２００ｎｍ）的电镜研究结果。反射高能电子衍射（ＲＨＥＥＤ）和扫描电子显微镜（ＳＥＭ）指出，采用该生长技术在较低生长温度下，在云母衬底上易生长出沿ｃ轴取向的单晶膜。在云母、单晶硅和玻璃衬底上都可得到表面结构致密而均匀的微晶或多晶膜。在适当条件下在玻璃衬底上还可以得到非晶膜。这些膜层均具有较好的可见光透过率。