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等离子化学气相沉积硅-硼-氮复合薄膜的组成和结构
更新时间：2025-02-21
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    • 等离子化学气相沉积硅-硼-氮复合薄膜的组成和结构

    • 暂无标题

    • 分析测试学报   2002年第2期 页码：83-85
    • 中图分类号： TB43

    • 纸质出版日期：2002

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  • 于翔, 于俊峰, 王成彪. 等离子化学气相沉积硅-硼-氮复合薄膜的组成和结构[J]. 分析测试学报, 2002,(2):83-85. DOI：

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