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东莞理工学院化学生物工程系
纸质出版日期:2008
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徐勇军, 李秀平, 罗列, 杨晓西, 李永梅. XPS对多层膜中单层膜厚的测定[J]. 分析测试学报, 2008,(9):1005-1007.
徐勇军, 李秀平, 罗列, 杨晓西, 李永梅. XPS对多层膜中单层膜厚的测定[J]. 分析测试学报, 2008,(9):1005-1007. DOI:
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依据XPS的测量信号与能量损失有一定定量关系的原理
利用数理分析方法
推导数学模型进行多层膜中单层膜厚的计算
该方法是一种测量总膜厚小于10 nm的单层膜厚的非破坏性的方法
具有较高的准确性。
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CSCD
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